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DH-900DZX箱式多弧磁控鍍膜機DH900DZX使用說明書
DH-900DZX箱式多弧磁控鍍膜機DH900DZX使用說明書

產品型號: DH-900DZX

所屬分類:示波器

產品時間:2016-08-25

簡要描述:DH-900DZX箱式多弧磁控鍍膜機DH900DZX使用說明書該鍍膜機可鍍制不銹鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬,也可鍍制合金膜或化合物,也可在工件表面上鍍制單層或多層介質膜或金屬 ZrN、TiCN、TiAlN 等硬質或裝飾涂層,具有鍍膜速度快、膜層質量好的優點。

詳情介紹

DH-900DZX箱式多弧磁控鍍膜機DH900DZX使用說明書

該鍍膜機可鍍制不銹鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬,也可鍍制合金膜或化合物,也可在工件表面上鍍制單層或多層介質膜或金屬 ZrN、TiCN、TiAlN 等硬質或裝飾涂層,具有鍍膜速度快、膜層質量好的優點。

   真空室:鍍膜室尺寸900mm×900mm×1000mm;箱式、前開門結構;

   抽氣系統:機械泵:前級泵70L/S;維持泵:2X-8旋片泵;羅茨泵:ZJP-150; 擴散泵:KT-500 ;分子泵: FF250/1600(選配);

   極限真空:5×10-4Pa;恢復真空:5×10-3 Pa(小于20min);

   鍍膜系統:平面磁控靶或圓柱磁控靶/直流功率源或中頻功率源;小弧源/柱弧源;

   輔助鍍膜系統:脈沖偏壓電源,條形離子源(選配);

   膜厚測量系統:石英晶體膜厚監控系統(選配);

   進氣系統:自動壓強控制+多路質量流量控制系統;

   操作方式:手動按鍵式;控制系統配置:研華工控機,80G硬盤,512內存+日本三菱PLC;10英寸液晶顯示觸摸屏界面;

   旋轉夾具:公轉/自轉夾具,速度從 0~15r/min 無級可調;

   工件烘烤:室溫~300℃;

   供電電源:  三相380V,50Hz。

    特殊規格可定制。

DH-900DZX箱式多弧磁控鍍膜機DH900DZX使用說明書

TU-10 DU-20 HH.S21-4 HH.S11-2 HH.S11-2-S  HH.S21-6-S HH.S21-8-S WZZ-1  HH.S21-4-S  DZKW-D-4 DZKW-D-4 DZKW-D-4 DZKW-D-4  DZKW-D-2



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